六吋晶體生長關鍵突破 中山大學助攻MIT產業升級

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國立中山大學晶體研究中心創全國學研單位之先,成功生長六吋導電型4H碳化矽單晶;左起研究生張晨暘、鄭永旺及博士後研究員李居安。 (記者王正平攝)

記者王正平/高雄報導

國立中山大學晶體研究中心創全國學研單位之先,成功生長六吋導電型4H碳化矽單晶,在長晶爐設備、熱場設計、長晶技術、品質檢驗等環節一百%MIT,奠定晶體生長速度快、穩定性高、成本低等優勢,將透過技轉助攻台灣產業升級,強化全球市場競爭力。

中山大學材料與光電科學學系教授兼國際長周明奇指出,晶體研究中心已成功長出六吋導電型N-type 4H碳化矽SiC單晶,中心厚度為十九mm,邊緣約為十四mm,生長速度達到三百七十um/hr,「晶體生長速度更快且具重複性」,國內尚無其他研究單位或大學能做得到,標示著第三類半導體碳化矽向前推進的進程。

周明奇表示,包括生長晶體的長晶爐、存放材料的容器坩堝、熱場設計、生長參數及晶體缺陷檢驗等,所有關鍵技術與設備設計、組裝全部MIT,不倚賴國外廠商,上下游一條龍自主培養合作廠商生態鏈,從學術研發鏈結到產業製造,更能撙節研發生產成本。

國立中山大學創全國學研單位之先,成功生長六吋導電型4H碳化矽單晶。 (記者王正平翻攝)

去年研究團隊導入六吋導電型4H碳化矽長晶爐,已成功生長出六吋單晶;周明奇強調,為了從實驗室邁向工業化,團隊不斷調整生長參數、檢驗晶體品質,今年二月,確認生長的六吋導電型4H碳化矽SiC單晶生長速度更快、穩定性佳且具重複性,確保未來技轉廠商的市場競爭力與獲利優勢。